第274章 分子级别超纯水

发觉了梁远发呆，两个丫头到是知道梁远又走神去想刚刚说忽然忘掉的东西去了。

双胞胎咬着一根吸管，心不在焉的轻点着头，用吸管戳着“葡萄汽水”已经见底了的玻璃酒杯，用很好奇的目光盯着梁远看。

“嘉嘉，你说猪头是不是想起来什么了？”

“嗯～，看起来很像呢。”

好奇归好奇，怕打扰了梁远思路的两个丫头只是小声的聊着天，还敏锐的帮梁远留意着四周，怕过来打招呼的熟人干扰到。

大约过了五六分钟，冥思苦想中的梁远眉头一展，伸手呯的拍了一下身前的桌面，由于力量很足的缘故把桌面上的酒杯都震得小小的位移了一下。

“小远，想起来了么？”

双胞胎异口同声的问道。

“嗯～！”

梁远重重的点了点头。

“小远想起来的是什么？”

宁婉嘉好奇的问道。

“嗯，走，和我下楼说～。”

梁远拉起两个丫头的手起身就向楼下走。

两个丫头跟着梁远离开食堂，沿着小路来到湖边，梁远指着星光点点的湖面笑着说道：“明儿打造一个两吨重的奖章丢湖里，用来奖励带来灵感的南湖。”

“小远，究竟是什么啊？”

两个丫头疑惑的盯着湖水看了又看，也没想明白这普普通通的湖水能看出来什么灵感。

“稍等稍等，一会来车你俩就明白了～。”

梁远笑着说道。

磁悬浮列车的测试强度很大，三人在湖边站了五分钟左右，一列三节重联的蓝色磁悬浮胶囊列车从湖岸南边的丛林里转出，几个呼吸就上了越湖轨道。

梁远想和两个丫头分享自己的喜悦，也没用折射、反射之类的物理概念来解释自己刚刚回忆起来的灵感，决定原滋原味的重演现实。

“仔细看湖面上的列车灯光投影～”

梁远指着湖面上磁悬浮胶囊列车留下的蓝色光斑投影快速说道。

“仔细看，投影在水面上是不是在不停的波动～”

“嗯，是吖～”

“波动的原因应该是风吹的嘛。”

“看光斑的大小变化是不是一会类似正方形一会类似长方形～”

梁远给了个提示。

“嗯，是的，就是不太明显。”

“如果把磁悬浮胶囊列车看做光源，那么这个不停变化宽度的光线投影你俩能联想起什么？”

这事儿本来就是因为光刻机而起的，两个丫头自然会第一时间往这个主题上靠，双胞胎盯着水面上的投影沉默了几秒钟，猛的回味了过来。

“小远你是说用水改变光源的线宽～”

“通过折射改变光源输出～”

双胞胎的学习成绩向来吊打梁远，光线的折射又不是什么特别抽象的东西，在梁远比较明显的提示下，两个丫头几乎同时猜到了梁远所言的关键点。

“啊～啊～啊～猪头好厉害！”

“啊啊猪头终于靠谱了一次，港基集电那么多人都没想出来从这个方向入手呢。”

高兴的两个丫头微微抬头奖励了梁远两个亲亲。

“我这个只是原理而已，真正能不能用还不好说呢，明儿我还得找明白人好好问问～”

梁远很是得意的说道。

三人从湖边回到家已经是下半夜，两家人的长辈都被三人丢在了港岛，洗漱过后道过晚安心情大好的宁婉菲在关上卧室的房门之前还撩了梁远一句要不要过来打地铺，看着宁婉嘉似笑非笑的模样把梁土豪吓得落荒而逃。

隔日，心里有事的梁远也顾不上去安抚失火三人组，把事情向王蒙蒙三人解释的工作交给两个丫头，梁远早起之后直接去了港基集电，依旧是把王欣、刘飞扬、聂晓天三人逮到小会议室开会。

“大少，今天这是又从哪里捡到人了么？”

刘飞扬发现开会的阵容和昨天一样，说了一个温度比较低的笑话。

哪有天天捡光刻机的，梁远两世为人也就遇到这么一遭，梁远没好气的看了刘飞扬。

“聂晓天，去把门锁上，屋内开的那种。”

梁远这句话一出口，技术大佬三人组都知道事情严肃了。

“我来吧～”

刘飞扬收起轻松的心态，快步把小会议室的门锁成手动开启的那种。

“昨天，听大家讨论193光源壁垒时，脑袋里就闪了个念头过去～”

梁远也没铺垫直入主题。

“不过这个灵感就是闪了一下，然后就被我忘了～”

梁远做了个无奈的表情。

技术大佬三人组虽然都没说话，不过神色都是十分统一的“特喵逗我”。

“晚上和两个丫头去食堂吃饭，心里就一直琢磨着这事儿，那种有件事情忘记了却马上就能想起来的那种感觉你们都经历过吧，我昨晚就是那种～”

“菲菲看我想得挺

痛苦的，就开了几瓶葡萄汽水～”

虽然梁远一本正经的编着心灵鸡汤，可葡萄汽水这个名词一出口，小会议室还是响起了低低的笑声，宁婉菲的葡萄口味汽水在远嘉已经成了很著名的“梗”。

“哈哈哈，别笑～，开会呢～。”

梁远自己也笑场了。

“葡萄汽水还是有用的，人一进入到微醺状态，看东西的视界难免会扭曲变化有些失真～”

梁远巴拉巴拉的把自己看磁悬浮胶囊列车的光斑投影，在湖面宽窄变化进而联想到液体折射和光刻机镜头的事情联系了起来。

牛顿之前，无数人被东西砸了脑袋也没发现万有引力，梁土豪之前，无数的酒鬼醉眼迷离也没想到光刻机的线宽，梁远自己觉得这锅鸡汤炖得还是蛮有格调的。

“你们说，如果把晶圆丢在水里光刻是不是有助于增大NA值～。”

梁远假模假样的问了一句。

除了特别极端条件，物理定律肯定是不会变的，晶圆丢水里当然会变相增大镜头的NA值。

“卧艹！”

技术大佬三人组都被惊吓了，刘飞扬和聂晓天甚至连不符合社会期待都语气助词都没憋住。

王欣彻底的一副世界变化这么大，好像忽然见了鬼的模样。

小会议室里一片寂静，也不知过了多久，王欣喃喃的说道：“大少，我是彻底相信你是被赚钱耽搁了的科学天才了。”

刘飞扬小小的“呃”了一声，把差点脱口而出的大少是真有吉祥物属性的话硬生生的咽了回去。

昨晚刘飞扬和聂晓天应酬完方伟林一行人，两人结伴回家时还笑言港基集电有吉祥物属性的大少，193纳米光源壁垒肯定得我们追上来才能突破，哪成想只是回家睡了一觉，第二天梁远就直接爆种了。

镜头上加水这玩意一旦捅破了后边差不多是一马平川，对于技术大佬三人组随便拿张纸就能算出来这东西的前景。

水的折射率是1.44，港基集电目前营运的晶圆生产线线宽是5微米，如果像梁远所言的直接在水里光刻都不用变动光刻机的镜头组数和更换新光源，直接就能把线宽变成3.5微米。

“大少这个想法简直天才～”

“十年之前，干式蚀刻和湿式蚀刻就有过路线之争，结果干式蚀刻把湿式蚀刻给淘汰了，没想到换了个思路湿式居然又复活了。”

“老聂，你这话可不准，形象点说干式蚀刻和湿式蚀刻是冲洗，和大少这个完全是两码事。”

光刻机、蚀刻机都是晶圆生产线的核心设备，由于晶圆生产的技术原理起源于相机，因此可以近似的把光刻机看成拍摄，蚀刻机看成冲洗，加工完成的晶圆就是相片。

七十年代中期，主流蚀刻机对经过光刻机曝光之后晶圆都是采用液体化学溶剂冲洗光刻胶，因此也叫湿式蚀刻，七十年代末八十年代初，东洋尼康采用气体冲洗的干式蚀刻机研制成熟，只用了几年的时间就淘汰了操作复杂腐蚀污染严重的湿式蚀刻。

可惜，整整二十多年，整个东洋也没人想到把湿式工艺挪移到上一个生产环节。

一般来说，浸入式光刻机有三种技术路线：

第一种是喷淋法，顾名思义就是把水喷到晶圆上然后再迅速带走，常见的喷淋法工艺是在镜头的一侧设置一个超精密喷嘴，随着镜头加工运动把水喷到镜头下方，然后从镜头的另一侧把水吸走。

这个方法对超精密加工能力和计算机控制能力要求极高，在镜头下方的工作区稳定的建立起那层超薄水膜不比生产光刻机简单到哪去，如果精密加工和精密控制的能力不行，会导致晶圆边缘的曝光很差，严重影响晶圆生产线的良品率。

不过喷淋法最大的优点就是能完整的利用现有设备，可以说这套喷水和吸水的设备完全独立于晶圆生产线，只和光刻镜头联动，进行晶圆生产线技术升级时难度和改建成本都极低。

第二种叫浴缸法，这个方法和梁远刚刚说的灵感类似，就是把整片晶圆都丢在水里，装晶圆的容器→浴缸随着晶圆工作台移动。

这种方法的好处是工程上的技术难度较低，不会对晶圆生产线的良品率造成负面影响，不过缺点是要对现有的晶圆生产线做较大的改动，必须研制全新的能在水中工作的光刻胶，必须对晶圆工作台加以改进，而且由于晶圆工作台上增加了水的重量，晶圆生产线的生产节拍也会随之改变，相比喷淋法晶圆生产线的生产效率会有一定幅度的下降。

第三种叫泳池法，就是把整个光刻程序都丢进水里来完成，这种方法虽然能最大化的减少线宽，不过在水中操作相当于重新研发一套晶圆生产体系，无论工程难度还是经济成本都双双过高。

新世纪之后，浸入式光刻机的国际主流路线采用了喷淋法，不过以港基集电目前的实力来说，第二种浴缸法才是最合适的，新世纪之后尼康和艾斯摩尔之所以选了喷淋法路线，一个是两家精密加工和精密控制的水准高没门槛，另一个是国际上现存的光刻设备大部分都是这俩

家卖的，当然是升级成本越低升级方式越简单越好。

九十年代初，制程工艺和芯片设计之间的分界远没有未来那般清晰，技术大佬三人组目前虽然都是以芯片设计为主业，但三人都对晶圆制程了如指掌，随便丢到那条产线上当个线长绝对是富富有余。

刘飞扬在纸上龙飞凤舞的写了大半张的算式，然后抬头用无法置信的语气对梁远说道：“大少，如果从西门子引进的设备投产，把大少这个想法放进生产线，我们直接就撵上国际先进水准了～～”

港基集电主导的共和国的火炬计划属于基础科研类，压根就没有保密一说，港基集电的财务审计是通过第三方的会计师事务所交叉审计，梁远打算采购大批的国产5微米晶圆生产线，在财务报表上根本无法隐藏。

当然，引进第三方会计师事务所虽然一定程度上不利于企业保密，但对国际交流引进技术还是很有促进作用的。

随着港基集电5微米晶圆产线的成熟量产，此时的海外电子产业界巨头已经意识到，3微米线宽对港基集电来说随时都可能获得突破，一旦港基集电自主突破了3微米的制程技术，2微米的海外制程技术很可能没有花大价钱引进的必要了。

因此这次苏良宇等人这次去西门子谈判，受到了西门子半导体极为热情的接待，和三个月之前的态度简直判若两人，甚至西门子还承诺会在欧洲电子行业内部展开游说，争取尽早把2微米制程技术撤下巴统的监控名单。

实际上，哪怕没有梁远干扰历史，在九一年的下半年巴统组织自己就开始讨论，把2微米制程技术对共和国开放绿灯的可行性。

不过那时放宽政策的背景是北极熊轰然倒塌，共和国北上挖墙脚，海外电子集团生怕共和国借用北极熊的电子产业人才快速崛起，决定放宽技术的出口标准用来影响共和国的电子产业政策。

“海外最先进的0.5微米制程还没投产，目前已经投产中最先进的生产线只有东芝、NEC、摩托罗拉三家的1.0微米线，按英特尔的技术路线图0.5微米的生产线要明年第三季度才开始运行，苏总那边正在和西门子谈1.5微米的线，如果我们动作快一点，在1.5微米制程的基础上搞大少提出来的这个东西，能把制程线宽直接推进到1微米，海外的电子集团怕是得疯吧～”

九十年代，海外压制共和国电子产业的技术代差基本都是稳定保持在三代，如果按聂晓天所说直接把制程线宽搞到1.0微米，可就真的踩到老外的尾巴了，肯定得真疯，港基集电搞不好会丢在无影灯和放大镜下吊起来观察。

“这些事先另说，先搞个简单的框架出来，有什么注意事项现在就写，然后去实验室中试车间试试我说的想法。”

“就算能成也别改老外的设备，我们直接改国产的方便，5.0线宽和3.0线宽真较真可以说是两种芯片了，改海外的的线就算能改成功才多大一点产量，除了虚名没大用。”

梁远否掉了聂晓天的假设。

“我先来提吧，第一个水的纯度问题，普通水里的气泡杂质什么的肯定会严重影响良品率，我们能用的肯定是超纯水，我估计一般实验室里用的超纯水很可能还不成，得上最顶尖的那种纯度起码要六个九，不过这东西的来源还得看大少的～”

王欣所言超纯水的纯度差不多微观到了分子级别，起码得把水中的重水全都分离出去，共和国能生产这玩意的部门怕是只有核工业部一家能干。

一般来说，王欣要的那种超纯水是分离重水的副产物，这东西全球有能力生产的估计两只手就数得过来了，重水的价格在九十年代是5元每毫升，这个副产物价值多少还真没法衡量

“这个问题我来解决。”

梁远倒是雷厉风行，直接抄起电话联系人在港岛休假的宁雷。

两个中年妇女要在家里享受天际线游泳池，因此宁雷和老梁同志哪也没去，梁远第一时间就找到了人。

“小远怎么想起来给宁叔打电话了，莫非是烧的太严重被东大开除了不成～。”

宁雷笑着和梁远开玩笑，可对于梁远来说，宁雷第一句话就一语中地直接把天给聊死了。

这破事儿都简直了，虽然和两个丫头同桌的未来非常值得期待，可这事儿该怎么和家里解释梁远想想就脑壳痛。

“宁叔，我在港基集电这边开技术会议呢，如果不出意外，日后的保密级别应该是绝密。”

梁远决定暂时无视自己被打回高中的事实，先用工作把家里人应付过去。

“哦，有什么需要小远直说。”

一听是绝密，宁雷知道梁远不可能拿这种事情开玩笑，态度顿时严肃了起来。

“港基集电在搞一种能追上国际顶尖制程线宽的技术，需要分子级别的超纯水，最好是重水分离的副产物～。”

“需要多少？”

宁雷言简意赅。

“需要多少？你们三个碰一下？”

梁远转头问技术大佬三人组。

：。：